» Программы для разработки, тестирования,... оптических систем

Кстати в Zemax 2008 замечен глюк - пропадает значение "Execution Time" во время оптимизации, просто написано "min", а сколько - неизвестно. У кого еще есть такое???

paparazzo
У меня тоже пропадает...

А у меня не работает новая фишка: рассеяние лучей на поверхности по Гауссу(Scatter ray Gaussian_XY.dll). Выдает ошибку загрузки DLL. Кривые руки? Может быть кто-нибудь попробует. На странице ZEMAX есть пример.
http://www.zemax.com/kb/articles/219/1/How-to-Create-a-User-Defined-Scattering-Function/Page1.html

Кто занимается литографией:
Подскажите, пожалуйста, какие пакеты удовлетворительно рассчитывают осветительно-проекционную оптику в различных диапазонах от ~400нм до ~13нм с некогерентным и когерентным источниками?
Какую литературу посоветуете по расчету оптических систем для литографии?

Цитата:

Подскажите, пожалуйста, какие пакеты удовлетворительно рассчитывают осветительно-проекционную оптику в различных диапазонах от ~400нм до ~13нм с некогерентным и когерентным источниками?

Литографией не занимаюсь.
Но на предприятии откуда я благополучно ушел вроде пользовались SOLID-C от фирмы SIGMA-C. Насколько я знаю есть еще SOLID-EUV для EUV литографии.

Цитата:

А у меня не работает новая фишка: рассеяние лучей на поверхности по Гауссу(Scatter ray Gaussian_XY.dll). Выдает ошибку загрузки DLL. Кривые руки? Может быть кто-нибудь попробует.

Точно не работает. То есть у меня все грузится, но проблемы с нормированием энергии. Непонятно откуда появляется лучик, падающий на пиксель детектора (0, 0). Сейчас напишем bug report. Или кто-то уже?

Цитата:

Точно не работает. То есть у меня все грузится, но проблемы с нормированием энергии. Непонятно откуда появляется лучик, падающий на пиксель детектора (0, 0). Сейчас напишем bug report. Или кто-то уже?

А разве не должен? Я понял, что падающий луч вызывает рассеяние по-гауссу, пик в направлении преломления/отражения. Причем непонятно, что происходит с исходным лучом. У меня выдается ошибка: Cannot load DLL ...\GAUSSIAN_XY.DLL.
Остальные две DLL вызываются без проблем.

Цитата:

А разве не должен?

(0, 0) - левый нижний угол. Сделай детектор хоть 1м Х 1м - он все равно зажжет (0, 0).
А насчет "не могу загрузить": проверь все пути (через Preferences). Может ты файл
конфигурации перенес со старой версии?

Добавлено:
Sorry, неточно выразился: не пихель с координатами (0, 0), а пиксель с индексом (0, 0), т.е. именно левый нижний угол.

paparazzo
Цитата:

Но на предприятии откуда я благополучно ушел

Если ты про П****р в Беларусии, то он, вроде как, уже должен идти на подъем? (дальше лучше в ПМ)

Цитата:

Цитата: Цитата:Подскажите, пожалуйста, какие пакеты удовлетворительно рассчитывают осветительно-проекционную оптику в различных диапазонах от ~400нм до ~13нм с некогерентным и когерентным источниками?

Литографией не занимаюсь.
Но на предприятии откуда я благополучно ушел вроде пользовались SOLID-C от фирмы SIGMA-C. Насколько я знаю есть еще SOLID-EUV для EUV литографии.

Приветствую всех, коллеги!
Может в кратце напишем направления работы, в которых мы зарабатываем на хлеб моделированием в ZЕMAX, CodeV, Oslo и прочих системах?

Раз уж поднял эту тему - начну сам.
Первые 4 года после университета работал в разработке, внедрении и поддержке производства головок чтения/записи информации на оптический диск. Не сомневаюсь, что у многих из Вас эти устройства все еще в употреблении
Год работы в ... хм... Как это по-русски Rear-Projection TV (Rueck-Proektion TV)? Вот тут мне пришлось очень плотно заниматься расчетом допусков на элементы, определением требований качества изображения, количества необходимых юстровок и самими юстировками. Наше начальство мягко сказать было не в уме и над проблемой внедрения оптики проекционного телевизора (вот как он называетсо!) в производство занималось всего 5(!) человек! Так напряженно я еще не работал и дай Бог работать больше не буду. Очень много программировал в Код5 и очень был им доволен. Не сказать, что знаток Земакс, но думаю по расчету допусков и возможностей их анализа Код5 далеко опережает Земакс.
Теперь я работаю в исследованиях по разработке оптических дисков четвертого поколения и оптических головок для них. Теперь я в основном сижу за оборудованием. Над расчетами у нас доктора трудятся.

Вот такое у меня резюме Общий стаж работы 8 лет.

Цитата:

Для проектирования самого проекционного объектива Zeiss использует Code V наряду с собственным софтом. Для проектирования осветительной части используют Code V, Zemax и LightTools.

Насколько я знаю в Code V используется опция "1D/2d Partial Coherence". Степень когерентности задается своеобразным способом.
В Zemax также недавно ввели возможность использовать частичную когерентность, но задается она по другому чем в CodeV
Насколько сопоставимы модели частичной когерентности Zemax и СodeV?

Цитата:

Может в кратце напишем направления работы, в которых мы зарабатываем на хлеб моделированием в ZЕMAX, CodeV, Oslo и прочих системах?

Мне это тоже интересно, но с точки зрения второй стороны этого предложения, а именно: меня интересуют предприятия/люди в СНГ, которые идут в "направлении" расчета оптики для литографии с уровнем 130-65нм и менее. (пожалуйста, в ПМ)

Цитата:

меня интересуют предприятия/люди в СНГ

А вы находитесь в СНГ? По-моему эта отрасль в СНГ в жутком упадке... Ибо все толковые спецы уже не в СНГ, и нужна не только теория но и реализация на практике, а создание таких систем в данное время в СНГ невозможно по известным причинам - старое убили, а новое не создали.

alexgeorg

Цитата:

Для проектирования самого проекционного объектива Zeiss использует Code V наряду с собственным софтом. Для проектирования осветительной части используют Code V, Zemax и LightTools.

А откуда такие сведения?

Ищу книгу в электронном виде "Погарев "Юстировка оптических приборов"" В нашем городе ее нет).
Или литературу по центрировке линз (в оправе) или сборок линз с использованием центрировочных патронов. В книге "Efremov A.A., Sal'nikov Yu.V. Izgotovlenie i kontrol' opticheskix detalej" очень мало.

Цитата:

А откуда такие сведения?

Почитайте Laser Focus World, сайты Opticalres.com, Zeiss и т.п. Даже я там встречал кто чем пользуется. Либо в вакансиях обычно пишут: опыт работы с CodeV очень приветствуется...
А вообще - логично, у CodeV - солидный возраст и репутация.

mlewton

Цитата:

А откуда такие сведения?

Прикольно...

Цитата:

Насколько я знаю в Code V используется опция "1D/2d Partial Coherence". Степень когерентности задается своеобразным способом.

Да, для анализа т.н. Aerial Image, наверное, это можно использовать. В упомянутых мною программах есть дополнительные возможности по заданию разных типов источников (осевой, внеосевой, многопольный) плюс распределение интенсивности в тонких пленках (резистах). Я aerial image в Code V с Solid и Prolith не сравнивал, вообще интересно было бы посмотреть.


Цитата:

А откуда такие сведения?

От инженеров Zeiss SMT и ASML.

paparazzo

Цитата:

старое убили, а новое не создали

Ну так а кто будет создавать? Нам и карты в руки.

Цитата:

Ну так а кто будет создавать? Нам и карты в руки.

Ну если вознаграждение будет таким, что в рабочее время можно будет думать о поставленных задачах литографии и решать их, а не о том где бы еще заработать, чтоб кое-как свести концы с концами, то я только ЗА.
Хотя уже оффтоп пошел. Да простят меня модераторы....

А вообще фотолитография - это очень интересно!


Цитата:

Приветствую всех, коллеги!
Может в кратце напишем направления работы, в которых мы зарабатываем на хлеб моделированием в ZЕMAX, CodeV, Oslo и прочих системах?

Ну вкратце: работаю в небольшой фирме, занимающейся разработкой оптических систем. Занимаюсь всем, что предлагают. В последнее время больше попадается светотехника. Хотя сейчас еще считаю сканирующий обектив с компенсацией сдвига изображения.

ging

Цитата:

Залил статьи Исшики на книголюба. Там правда только одна непосредственно про Escape-функции. Почитать все равно интересно. Жаль, что с одной стороны Осло перестало развиваться (ИМХО) ну и сам он уже староват, чтобы развивать свой метод. Поэтому его новые статьи отдают примитивизмом (романтикой прошедших дней, когда компьютеры были очень медленными, а новые системы все-таки проектировались...).

о! начал читать и прямо дежа-вю. тут вспомнил - эти статьи вшиты в руководство по ОСЛО

Получил на днях спецификацию из Японии на PBS. Там аберрация указаны в единицах, которые до сих пор я не встречал: RWA <0.02 lambda. Кто-нибудь знает что это за зверь и с чем его едят?

FISHA100

Цитата:

Получил на днях спецификацию из Японии на PBS. Там аберрация указаны в единицах, которые до сих пор я не встречал: RWA <0.02 lambda. Кто-нибудь знает что это за зверь и с чем его едят?

Может что-то типа Rest Wavefront Aberration... Волновая аберрация в длинах волн. Oстается узнать RMS или PV

Цитата:

Вопрос: какова нижняя граница пропускания ПММА, пропустит ли он 355, 365 или 385 нм?

FISHA100 Спасибо.
есть вопросы:
Откуда данные о ПММА? И хотелось бы знать устойчивость материалов на графике к ультрафиолету...

вышла следующая версия http://www.zemax.com/downloads/ZEMAX_2008-03-06.exe
пофиксили баги...

Вышел код5 9.81. Пишут, что улучшили моделировани частично когерентного излучения для литографии

Цитата:

FISHA100 Спасибо.
есть вопросы:
Откуда данные о ПММА? И хотелось бы знать устойчивость материалов на графике к ультрафиолету...

http://www.zeon.co.jp

На такие вопросы ответы высылаются только персонально.

Цитата:

На такие вопросы ответы высылаются только персонально.

Представляю...
Но на http://www.degussa.com мне не ответили...